Tá tréithe comhéifeacht cuimilte íseal, cruas ard, modal mór leaisteach, seoltacht theirmeach ard, comhéifeacht leathnaithe teirmeach beag, cobhsaíocht cheimiceach maith, bearna banda optúil leathan, etc., agus úsáidtear go forleathan é i bpróiseáil sciath dromchla uirlisí, múnlaí, trealamh míochaine, srl. Is é an chúis bhunúsach go bhfuil an oiread sin feidhmeanna ag bratuithe DLC agus go n -úsáidtear go forleathan iad a n -airíonna struchtúracha agus na feidhmeanna a eascraíonn uathu.
1. Saintréithe struchtúracha bratuithe cosúil le diamant DLC
1) Struchtúr Réitigh Metastable
Níl an sciath DLC DLC comhdhéanta de shubstaintí eiliminteacha, is carbón éagruthach metastable é le bannaí SP2 agus SP3 agus beagnach aon bhannaí SP1. Tá go leor airíonna comhchosúla ag bratuithe DLC le níos mó ná 70% de bhannaí SP3 le bratuithe diamaint. Is carbóin éagruthacha iad carbóin atá cosúil le diamaint ina bhfuil hibridiú SP2 agus hibridiú SP3, mar sin taispeánann siad airíonna atá idirmheánach idir diamant agus graifít.
2) Feidhm Réiteach Bannaí Ceimiceach
Is é banna SP3 a shocraíonn feidhmíocht mheicniúil an sciath; a fheidhmíocht fhisiciúil ag an mbanna SP2. Is féidir tréithe difriúla a tháirgeadh trí theicníc ullmhúcháin agus cóimheas na mbannaí SP3 go SP2 a athrú, agus dá bhrí sin bratuithe cosúil le diamaint a fháil. Ar an dara dul síos i gcruas i gcruas agus dá bhrí sin feidhmíonn sé mar sciath éifeachtach cosanta i gcoinne caitheamh, tugtar bratuithe carbóin éagruthacha tetrahedral (TA-C) ar scannáin charbóin saor ó hidrigine le níos mó ná 80% bannaí SP3. Cé go bhfuil cobhsaíocht theirmeach lag, metastable, DLC éagruthach, gan teorainneacha gráin, bealaithe mín, comhéifeacht íseal cuimilte, gan aon lochtanna teorann gráin, a úsáid mar sciath oiriúnach atá frithsheasmhach in aghaidh creimthe. Seachas an banna SP3 agus an banna SP2, is é an sciath charbóin éagruthach atá ina bhfuil hidrigin (AC: H) an scannán carbóin a dhéantar a bhfuil foirmeacha bannaí SP3 agus SP2 Bond ann; Tá bith -chomhoiriúnacht mhaith ag an dá scannán carbóin seo.
Ina theannta sin, tá go leor earnálacha eile fostaithe go forleathan, léiríonn bratuithe cosúil le diamaint cáilíochtaí optúla, leictreacha agus fuaimiúla inchomparáide le diamant agus tá gnéithe de bhanda optúil leathan, innéacs athraonta ard, frith-fhriotaíocht, agus cleamhnas leictreon íseal acu.
2. Modh ullmhúcháin de sciath DLC cosúil le diamant
Ullmhaítear bratuithe DLC DLC trí chruachadh céim cheimiceach gaile (CVD) agus cruachadh céim an ghaile fhisiciúil (PVD).
1) Modh carnadh céim cheimiceach gaile
Tagraíonn carnadh chéim cheimiceach gaile do dhifreáil nó ianú comhdhúile carbóin ina bhfuil teochtaí arda nó i bpáirc plasma, agus ansin imoibriú ceimiceach ar an tsubstráit chun sciath cosúil le diamaint a dhéanamh. Tá lochtanna ag an CVD ginearálta amhail teocht ard carnadh agus strus mór inmheánach an sciath, agus cuireadh cruachta gaile ceimiceach feabhsaithe (PE-CVD) in ionad de réir a chéile, minicíocht micreathonnach-raidió (MW-KF), scaoileann an t-urscaoileadh glow (DG) reatha (DG), modhanna urscaoilte Glow (DG), Scaoilte Raidió Minicíochta.
2) Modh carnadh céime gaile fisiciúil
Ullmhaítear an scannán DLC trí chruachadh céim an ghaile fhisiciúil, agus déantar an carbón a chruachadh ar an tsubstráit i bhfoirm ian nó adamh trí thrasghalú ardteochta agus sputtering ian gáis na sprice graifíte, a bhfuil cuma gharbh agus droch-fhórsa ceangailteach air, agus níl éifeacht an chur i bhfeidhm tionsclaíoch soiléir. Is féidir úsáid a bhaint as cruachadh ian (IBD), sputtering maighnéada, teicneolaíocht stua catóide agus cruachta léasair pulsed (PLD) chun bratuithe cosúil le diamaint a ullmhú le bealaithe mín, strus inmheánach íseal, greamaitheacht láidir agus comhéifeacht cuimilte beag.